小体积、高分辨率、高精度
p21一维旋转台采用机构放大设计原理,可以实现7.5mrad的旋转,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置sgs传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。
典型应用
频率负载曲线
应用实例
p21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。
技术参数
型号:p21
运动自由度:θz
旋转角度@120v:6mrad(~”)
旋转角度@150v:7.5mrad(~”)
闭环传感器:sgs
闭/开环分辨率:0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)
闭环线性度:0.5%f.s.
闭环重复定位精度:0.2%f.s.
推/拉力:10/5n
运动方向刚度:1n/μm
闭/开环空载阶跃时间:30/1.5ms
承载能力:0.1kg
静电容量:1.8μf
材质:铝
重量:105g