射频易商城_芯片电容_一种电容式芯片新结构①

   日期:2024-12-27     浏览:1    评论:0    
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一种电容式芯片结构①

随着MEMS技术的发展,压力传感器成为各行业中不可缺少的关键器件,已被广泛应用于汽车电子,石油化工,生物医学和国防军工等领域。相比于压阻式压力传感器,电容式压力传感器具有灵敏度高、功耗低、温度特性好等优势,更加适合研制高精度压力传感器。特别是在现代航空航天技术和现代国防装备等方面对压力测量精度和可靠性要求日 益增加的背景下,MEMS电容式压力传感器的研究受到国内外高度重视。对于普通的电容式压力传感器,一般采用平行板电容器结构,主要由可动极板和固定极板组成,当有压力作用于可动极板时,两极板间距改变,从而电容值发生变化,通过检测电容值实现对压力的测量,但存在输入与输出之间非线性严重、过载能力低等不足。上世纪90年代,Wen H. Ko等人提出了一种接触电容式压力敏感结构(美国专利号: 5 , 528 ,452) ,该结构的主要特点是在工作过程中随着外界压力的不断增大,感压上极板会接触到下极板上的介质层,这时输出电容值会与压力变化呈现近似线性关系,从而在一定程度上提高普通电容式压力传感器的线性度,但存在着灵敏度较低、线性区域的量程范围较小等不足,且无法应用于差压测量领域中。本实用新型就是针对上述问题,提供一种改进型的电容式芯片结构。为实现上述目 的,本实用新型采用如下技术方案,本实用新型包括下极板(3) 、中间极板(4) 和上极板(6) ,下极板(3) 与中间极板(4) 之间为下腔体,上极板(6) 与中间极板(4) 之间为上腔体。作为一种优选方案, 本实用新型所述上腔体和下腔体为密封腔体。作为另一种优选方案,本实用新型所述上极板(6) 和下极板(3) 接极性的电信号,中间极板(4) 接第二极性的电信号,极性与第二极性相反; 上极板(6) 为感压极板;或上极板(6) 接极性的电信号 , 下极板(3) 接第二极性的电信号 , 极性与第二极性相反; 中间极板(4) 不接电信号; 上极板(6) 和下极板(3) 均为感压极板。作为另一种优选方案,本实用新型所述中间极板(4) 和下极板(3) 为不动极板。作为另一种优选方案,本实用新型所述下极板(3) 、中间极板(4) 和上极板(6)的组合为多组,沿竖向布置;上方组的下极板(3) 为相邻下方组的上极板(6) ; 最上方组的上极板(6) 和最下方组的下极板(3) 为感压极板; 上方组的上极板(6) 、上方组的下极板(3) 和相邻下方组的下极板(3) 接极性的电信号,上方组的中间极板(4) 和相邻下方组的中间极板(4) 接第二极性的电信号,极性与第二极性相反;

推荐产品一、丽芯微电47pF, ≥100G@100V, 双面不留边 单层芯片电容


型号:C11-20-100V-470
容值/容差:47pF / ±20%
温度系数:±15%@-55~+125℃
绝缘电阻@电压:≥100G@100V
损耗@频率:≤4.0@1KHz
封装尺寸:0.508*0.508*0.178 mm
性能特点:尺寸小、容值大,结构简单,电极正面及反面均不留绝缘边;采用MM结构,产品寄生参数小,使用频率高至100GHz;表面纯金电极,适合金丝、金带等微组装工艺;适合Au/Sn、Au/Si、Au/Ge 共晶焊,以及Sn /Pb、导电胶粘接;七专级/ 普军级可选。

推荐产品二、丽芯微电6800pF, ≥1G@25V, 双面不留边 单层芯片电容


型号:C11-70-25V-682
容值/容差:6800pF / ±20%
温度系数:±15%@-55~+125℃
绝缘电阻@电压:≥1G@25V
损耗@频率:≤2.5@1MHz
封装尺寸:1.778*1.778*0.150 mm
性能特点:尺寸小、容值大,结构简单,电极正面及反面均不留绝缘边;采用MM结构,产品寄生参数小,使用频率高至100GHz;表面纯金电极,适合金丝、金带等微组装工艺;适合Au/Sn、Au/Si、Au/Ge 共晶焊,以及Sn /Pb、导电胶粘接;七专级/ 普军级可选。

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